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蒸发源类型：
电子束蒸发、热蒸发、高频感应蒸发、离子源辅助蒸发；
标准组成：
工艺室、真空系统、控温系统、气路传输系统、机械系统、蒸发源、全自动程序控制系统、安全系统；
应用类型：
金属蒸发和介电材料蒸发；
可选配置：
石英晶体膜厚控制器、辅助离子源(射频源和霍尔源)、单片/多片自动进样室等；
