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AR眼镜的工作原理
  AR眼镜的工作原理第一篇章 AR眼镜整体概括AR眼镜,想必大家都有所耳闻,这些仿佛来自未来的景象,是如何通过一副小小的眼镜实现的?数字世界是如何‘叠加’到我们眼前的真实世界的…
2025-07-27
紫外光刻常见问题
光刻的概述光刻(Photo Etching)是指通过匀胶、曝光、显影等一系列工艺步骤,将晶圆表面的特定部分除去而留下带微图形结构的薄膜,通过光刻工艺步骤,最终在晶圆上保留的是特征图…
2025-07-27
PECVD生长二氧化硅薄膜致密性改善研究
背景二氧化硅薄膜具有硬度大、防腐蚀性、耐潮湿性和介电性能强等优点,因此二氧化硅薄膜在半导体行业中可以用作器件的保护层、钝化层、隔离层等。PECVD即等离子体增强化学的气相沉积法是借…
2025-07-27
简析电子束光刻中的临近效应以及其修正的方法
近年来,电子束光刻的众多优势凸显出来,通过电子束直写的形式将图形直接转移到晶圆上,不需掩膜版,直写线宽最小可达10 nm,然而这种方法也存在一些不足,像曝光时间长,价格昂贵,因电子…
2025-07-27