公司通过光学检测设备来表征样品表面的形貌、尺寸、元素分析、折射率、反射率、应力等参数，以保障加工最终效果达到客户要求。
设备类型：光学显微镜、扫描电镜、透射电镜、原子力显微镜、聚焦离子束、台阶仪、应力仪、椭偏仪、分光光度计、膜厚仪等
表征尺寸：6英寸及以下
品牌型号 | Lecia DM8000M |
相机 | 原厂彩色相机 |
放大倍数 | 50x～1000x |
载物台行程 | X方向200 mm、Y方向200 mm |
观察方式 | 明暗场、微分干涉、偏光和透射观察 |
功能 | 具有图像采集，手动测量、图形标注、景深叠加功能 |
品牌型号 | 徕卡DM6M |
相机 | 原厂彩色相机 |
放大倍数 | 50x～1000x |
载物台行程 | X方向200 mm、Y方向200 mm |
观察方式 | 明暗场、微分干涉、偏光和透射观察 |
功能 | 具有图像采集，手动测量、图形标注、景深叠加功能 |
品牌型号 | ZEISS GeminiSEM 500 |
分辨率 | 0.6nm@15kV |
放大倍数 | 20-2,000,000x |
加速电压 | 0.02-30kV |
电子束流 | 5pA to 20nA |
工作距离范围 | 0.1mm to 50mm |
设备名称 | 聚焦离子束 |
品牌型号 | ZEISS Crossbeam 540 |
分辨率 | 3nm@30kV |
放大倍数 | 300x-500,000x |
离子源寿命 | 3000μAh |
加速电压 | 0.5-30kV |
工作距离范围 | 1mm to 50mm |
LSM功能 | SPM功能 |
405nm波长及白光光源双成像系统 | SPM扫描头与光学武警同轴齐焦，LSM为SPM进行定位 |
120nm水平分辨率，1nm垂直显示变了，10nm垂直扫描分辨率 | 可检查 100mmx100mmx76mm 超大样品 |
108x-17280x光学放大 | 接触、模式、相位三种模式 |
品牌型号 | 日本三丰Mitutoyo |
重复性 | 0.002mm |
分辨率 | 0.001mm |
测量范围 | 12.7mm |
回程误差 | 0.002mm |
测力 | 1.5N以下 |
品牌型号 | Bruker探针式表面轮廓仪 |
台阶高度重复性 | <5 埃 |
最大晶片尺寸 | 6英寸及以下 |
最大样品厚度 | 50mm |
垂直方向扫描范围 | 1mm |
垂直方向分辨率 | 最高分辨率可达 1埃 |
品牌型号 | 量拓ES01A-DUV、武汉颐光SE-VM-L |
光谱分辨率 | <0.4nm |
测量重复性 | ≤0.005 nm |
波长 | 350nm-1650nm |
主要功能 | 以非接触、无破坏方式测量薄膜膜厚和光学常数特性 |
品牌型号 | 安捷伦cary 5000 uv vis nir |
光度系统 | 双光束 |
Z 轴高度 | 20mm |
光谱带宽 | UV-Vis 0.01 - 5.00 nm NIR 0.04 - 20 nm |
波长 | 175 - 3300 nm |
主要功能 | 反射率和透射率测量 |
品牌型号 | TOHO FLX-2320-R |
应力测量精度 | ≤2.5% |
最大晶片尺寸 | 6英寸及以下 |
应力测试重复性 | ≤1 MPa |
应力测量范围包含 | 1 MPa~4 GPa |
主要功能 | 专注于薄膜应力的测量，可精确测量出薄膜应力的细微变化 |
