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电光调制器是光子芯片的核心器件之一,其性能直接决定通信系统的速率与能耗。近年来,光调制器的开发集中在提高速度、降低功耗和缩小尺寸三大方向上。利用电光晶体的电光效应,实现对光信号的幅度、相位以及偏振状态等参量的调制。
材料:SOI、LNOI、SNOI
加工能力:微环及含耦合结构的器件、耦合光栅、多模干涉器,Y分支器、交叉波导、行波电极等