微透镜阵列

MLA

产品参数

微透镜阵列（MLA）制造通常采用光刻、热回流、反应离子刻蚀、纳米压印、薄膜沉积、掩模镀膜、精密模造、晶圆级封装等工艺步骤，实现微米级透镜单元的高精度、高一致性与高集成度加工。

材料：光刻胶（SU-8等）、玻璃、石英、硅、聚合物（如PDMS）、二氧化硅、氮化硅

加工能力：高深宽比微结构成型、曲面透镜阵列、宽带减反射涂层、晶圆级光学集成、仿生复眼结构制备

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