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在CMOS图像传感器应用中，色散调控超表面技术衍生出多种创新结构。超表面能够在亚波长尺度对光学特性进行任意控制，与传统光学元件遵循的折射定律不同，它通过纳米天线实现对光的散射和相位控制。其设计数据库包含了各种元原子形状和波长对应的相位响应，这使得精确控制光学特性成为可能。通过密集排列的元原子进行波前整形，可实现对光的高效、波长特异性操纵。
材料：硅、氮化硅、二氧化钛等
加工能力：DUV高精度加工，支持12英寸
