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公司主要利用（ EBL+刻蚀）来高精度铬掩膜版，掌握整套掩膜版生产的设备、工艺和材料技术，可实现常规8寸以下的结构制作，精度可达到纳米级。
材料：7980/JGS1
加工能力：EBL直写精度可以到达±10nm，最大支持12英寸
