多工艺腔室集成系统

Evaporation equipment

产品参数

可根据用户需求定制多工艺腔室集成系统，国际称之为多腔室Cluster系统；

系统组成：单片/多片进样/储样室、传导室、多工艺腔室(不同数量/不同功能/相同功能等)、溅射/蒸发系统、离子源辅助系统、真空系统、加热/冷却系统、气体传输系统、全自动程序控制系统等。

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