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主要特点:
1、通过视觉及微动机构配合,自动完成芯片定位;
2、顶针和吸嘴协同作业,确保芯片快速稳定剥离;
3、基于纳米级高精度微动平台,高速高精度运动控制软件及算法,实现光学系统的高速自动对焦,获取芯片六个表面的高解析度图像;
4、双工位作业模式实现了移载工位和检测工位的并行作业,提升了产能。