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主要特点：
1、搭载高精度运动控制平台和高分辨率光学系统，利用光学成像技术和计算机图像处理。算法来高效、精确地检测多类型多结构表面缺陷；
2、具有对焦速度快、检测精度高、检测稳定等特点；
3、设备模块化设计，实现不同客户不同尺寸产品的快速切换；
4、设备兼容性高，支持裸晶圆，切割后带钢圈晶圆及扩晶后子母环等不同上料方式。
